2025-05-09
2022
- 分類:發展曆史
- 作者:
- 來源:
- 發布時間:2022-09-26
- 訪問量:0
【概要描述】Ø 2 inch 規模量產(chan) ,Ø 4 inch 小批量供貨,Ø 7 inch 樣品研發。
位錯密度:研發水平10³cm⁻²,量產(chan) 水平10⁵cm⁻²。
2022
【概要描述】Ø 2 inch 規模量產(chan) ,Ø 4 inch 小批量供貨,Ø 7 inch 樣品研發。
位錯密度:研發水平10³cm⁻²,量產(chan) 水平10⁵cm⁻²。
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作為(wei) 課題承擔單位獲得國家重點研究計劃“第三代半導體(ti) 的襯底製備及同質外延”項目支持
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